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石墨舟氮气柜:半导体制造中的要道保护建立

发布日期:2024-11-17 22:37    点击次数:59

石墨舟是一种由高纯度石墨材料制成的建立,庸俗控制于半导体器件、太阳能电板片等的制造历程中,用于承载硅片或其他基板材料通过高温措置。石墨舟因其优异的导电性和热深远性而成为这一范围的理思遴荐。关联词,石墨舟对环境条目颠倒敏锐,极端是对空气中的氧气和潮湿。

存放条目的疼痛性

防氧化:石墨舟在空气中容易与氧气发生响应,尤其在高温措置后愈加敏锐。恒久浮现于空气中会导致石墨舟名义性质改动,影响其使用性能。

防潮:石墨舟具有一定的吸附性,在潮湿环境中会招揽水分,进而影响其性能。

防混浊:存放环境应保抓洁净,幸免灰尘或混浊物的积存,以免影响石墨舟的结义度。

防紫外线:幸免石墨舟径直浮现在阳光下,因为紫外线可能对石墨材料形成毁伤。

石墨舟氮气柜的脾性与功能

防氧化保护:通过充入氮气来裁汰柜内氧气浓度,有用预防石墨舟名义氧化。

防潮防湿:创造一个干燥的环境,幸免潮湿对石墨舟的影响。

精准搁置气体环境:配备精准的氮气流量搁置和监测系统,可转念和监控柜内氮气浓度、湿度、氧气含量等参数。

高质地密封材料:给与高质地的密封材料,栽种柜门、接口等部位的密封性,减少氮气流露。

耐腐蚀、耐高温材料制造:每每使用不锈钢材质,具备追究的耐腐蚀性能、高强度、易于清洁和珍贵。

智能化操作:配有智能化搁置系统,复旧触摸屏或电子键盘操作,提供氮气浓度转念、温湿度监测、报警提醒等功能。

安全保护:具备安全保护功能,有用注重事故和物料流露。

使用把稳事项

轻拿轻放:石墨舟较为脆弱,应幸免摔落和碰撞。

清洁烘干:存放前需清洁并烘干石墨舟,去除名义的氧化层和污垢。

石墨舟氮气柜是确保石墨舟性能和使用寿命的要道建立,尤其在半导体、太阳能光伏、LED、电子、化工等行业中,它关于保护材料或产物免受潮湿、氧化和混浊具有疼痛作用。石墨舟氮气柜的蓄意和制造辞退严格圭臬,确保其在高技术制造业中的耐用性、清洁度及安全性,对栽种出产成果和产物性量至关疼痛



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